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雅斯科為半導體制程和設備提供精確測量和有效保障

雅斯科為半導體制程和設備提供精確測量和有效保障

2022/4/14 15:24:39

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半導體工業隨著汽車制造,人工智能,物聯網,工業4.0等領域的飛速發展,面臨著產能,可靠性,供應鏈成本等重大挑戰。雅斯科的壓力測量技術和產品,包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器,在諸如氣體控制面板,氫氣壓力檢測,以及潔凈室關鍵環境控制等應用領域,為半導體制程和設備提供精確的測量和有效的保障。

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高純氣體的純度至少為99.999%,其清潔度水平超過制藥行業的一萬倍甚至更多。如此高標準的要求是基于半導體制程的精密性,也因為制程一旦被污染所造成的損失巨大。實際上某些設備涉及多達400個工藝步驟,也增加了被污染的機率。

因此壓力傳感器必須具有高準確性,高潔凈度,接液材質應能與多種氣體兼容,同時應確保介質和顆粒潴留的可能性降到最低程度。部分應用場合需要符合氣密性要求。

ZT/ZX/ZL高純壓力傳感器

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雅斯科ZT/ZX/ZL系列高純壓力傳感器基于CVD傳感元件平臺,是超純應用的專用壓力傳感器產品,其產品特性包括能適應不同介質的接液元件材質,如316L, A286,Co-Ni 合金等,也包括VCR接頭,以及符合規范的表面光潔度和測量精度。每臺產品都經過泄漏檢測(<5 x 1012 atmcc/s)以及雙重包裝處理,確保完整性和潔凈度。

CVD傳感元件技術,是以化學氣相沉積的工藝(Chemical Vapor Deposition),使多晶硅薄膜與接液基座形成原子級別的牢固結合,是確保ZT/ZX壓力傳感器的穩定性與可靠性的關鍵。

GX/CX/DX微差壓傳感器

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雅斯科GX/CX/DX等微差壓傳感器產品基于MEMS制造的的Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件,采用雅斯科TruAccuracy?技術進行校驗, 充分考慮零點和滿量程誤差,可選SpoolCal?設計,允許在線標定和校驗。

Si-Glas?傳感元件使用的硅膜片具有良好的彈性和延展性,金屬和晶體通過濺射的方式與硅片牢固結合,因此傳感元件具有良好的溫度范圍和安裝位置變化的適應性,具有良好的長期穩定性。這是雅斯科特有的技術,也是確保雅斯科的微差壓傳感器精確可靠的關鍵。

HPX/HPT/HPS超高純壓力表

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雅斯科HPX高純壓力表系列提供28mm、50mm、63mm多種表盤直徑規格,具有316L接液材質,Class10,000/100潔凈室清洗,100%氦檢漏,雙層包裝袋等符合行業應用要求的特性。

帶簧片開關的 Ashcroft? 50 mm HPS 超高純壓力表提供不銹鋼結構和接液組件?;善_關功能通過啟動觸發警報或過程條件變化的內部開關來提供額外的安全功能。

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雅斯科與客戶同行

起始于1852年的Ashcroft(雅斯科)公司,在全球布局制造基地,致力于結合應用需求,為本地客戶提供專業的產品與便捷的服務,幫助客戶保護流程,保護人員安全,降低使用成本。

審核編輯(
李娜
)
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